防刻蚀（抗介质冲蚀 / 等离子刻蚀涂层）

　　防刻蚀（抗介质冲蚀 / 等离子刻蚀涂层）

　　高纯氧化钛、氧化铝、铬基陶瓷致密涂层，化学惰性极强；耐受等离子、酸碱蚀刻液、高速颗粒冲蚀、烟气粉尘冲刷，不被腐蚀介质剥离、不产生金属杂质污染；孔隙可控，无微观孔洞渗透，半导体、光伏洁净工况专用，避免工件刻蚀损耗与产品污染。

　　适用场景

　　半导体刻蚀腔体、光伏硅片载具、真空镀膜工装、烟气除尘风机、化工喷嘴、精密蚀刻治具。